電子制造業(yè)潔凈室的特點分析

信息來源：http://gdqynews.cn 發(fā)布時間：2015/10/5 20:12:56 點擊數(shù)： Tags:

電子制造業(yè)的發(fā)展帶動了潔凈室技術(shù)的發(fā)展，同時也因為電子制造技術(shù)的進步，對生產(chǎn)環(huán)境的要求越來越高，也給潔凈室的設(shè)計提出了更高的要求。電子制造業(yè)潔凈室設(shè)計是一項綜合性的技術(shù)，只要了解了它的設(shè)計特點，才能保證潔凈室的合格，也才能讓電子制造業(yè)的產(chǎn)品次品率更低，從而提高生產(chǎn)效率。
　　
　　電子制造業(yè)潔凈室的特點:
　　
　　電子制造業(yè)潔凈室的風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等都要嚴格按照要求來控制，照度和潔凈室截面風(fēng)速應(yīng)按照設(shè)計或者規(guī)范來控制。此外，電子制造業(yè)潔凈室對靜電、濕度的控制極其嚴格。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。
　　
　　一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時可有效地控制靜電，并使人也感覺舒適。
　　
　　芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。具體規(guī)定為:
　　
　　1、電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)
　　
　　2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。
　　
　　3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
　　
　　4、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的大值：
　　
　　5、補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
　　
　　6、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
　　
　　7、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫斷電保護，若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。
　　
　　之后，無塵室的送風(fēng)量應(yīng)取下面三項大值：1：保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量；2：根據(jù)熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量；3：向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。